<xmp id="ses8i"><center id="ses8i"></center>
<xmp id="ses8i"><menu id="ses8i"></menu>
<nav id="ses8i"></nav>
<xmp id="ses8i"><nav id="ses8i"></nav>
  • <dd id="ses8i"></dd>
    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    KRI 考夫曼离子源 Shift-Free Optical Coatings
    阅读数: 6118

    KRI 考夫曼离子源 Shift-Free Optical Coatings

    KRI 考夫曼离子源 Shift-Free Optical Coatings (Staff of Vacuum Innovations LLC )

    INTRODUCTION

    The deposition of optical interference coatings requires precise control of layer thicknesses and refractive indices in order to yield predictable, reliable performance. One of the challenges in the use of evaporated coatings is the porous ?lm structure and the associated sensitivity to relative humidity and temperature which results from the low energy of the deposited molecules [1,2].

    The use of an End-Hall ion source can provide added energy at the surface of the condensing ?lm, resulting in a denser ?lm structure for the coating molecules [3]. This denser structure can reduce or eliminate the penetration of water into the ?lm, thereby limiting the change in refractive index and other optical parameters in the coating. This densi? cation also provides a harder, more mechanically-durable ?lm, even at low deposition temperatures [3].

    SYSTEM CONFIGURATION

    A typical system for optical interference coating deposition consists of a 0.5 – 1.5m vacuum chamber with planetary or single substrate rotation and one or more evaporation sources, as shown in Fig. 1. The system geometry should be arranged to provide nearly equal coating thickness on all substrates, or masks should be introduced to partially shadow regions of higher vapor ? ux [4].

    The addition of an End-Hall ion source should be con?gured such that nearly-equal ion ?ux is provided to the entire substrate surface area in the coating chamber, while maximizing the utilization of the available ion ?ux. The modeling of ion ?ux with a cosine-power distribution is discussed in KRI Technical Report TR-01. The placement of the source in the chamber and the tilt of the source from vertical provide the necessary adjustments to evenly distribute ion ? ux. The determination of ion ?ux uniformity requires the modeling of the substrate movement, source placement and pointing using a cosine-power distribution for the ion source ?ux and rotation motion for the substrate [4]. An approximate starting point is to place the source directly beneath the center of the planet and direct the source at the inner edge of the annulus described by the planet motion (see Fig.1).

    ION SOURCE PARAMETERS

    Successful densi?cation of oxide materials for optical interference coatings requires operation at low ion energies and high current. Energies on the order of 100eV avoid the formation of crystallites and minimize gas incorporation,



     Fig.1-Deposition chamber con?guration

    though the use of slightly higher ion energies (up to 150eV) may be required to achieve the desired degree of densi?cation [5].

    Development of ion-assisted deposition requires knowledge of the process variables, and the in?uence of each on the resulting ?lm properties. These include the ion energy, current, gases to be used, gas ?ow rates, and the ?lm deposition rate.

    Ion Energy

    The discharge voltage determines the ion energy (eV), by establishing the potential difference through which the ions are accelerated. On an End-Hall ion source the ion energy corresponds to approximately 60% of the discharge voltage. High discharge voltages provide greater ion energies, but can increase optical absorption and defect densities. The lowest possible discharge voltage should be utilized that achieves the desired ? lm densi?cation, usually less than about 150V.

    Ion Beam Current

    The ion-beam current corresponds to about 20% of the discharge current in an End-Hall ion source. An ion beam current higher than necessary is generally not a problem [5], though the presence of a highly nonuniform distribution of ion dose may lead to signi?cant variation in ? lm densi?cation. A key advantage of End-Hall ion sources is the availability of high beam currents. The densi?cation of hafnium dioxide deposited over large-area substrates in a 1.1m box coater can

    Densified Hafnium Dioxide Densified Hafnium Dioxide / Silicon Dioxide Mirror Densi?ed Hafnium Dioxide Densi?ed Hafnium Dioxide /Silicon Dioxide Mirror


    Fig.3- In?uence of humidity on a 9-layer hafnia/silica mirror deposited at ambient temperature with ion-assist provided by the KRI eH3000. Once again, the difference between the ?lm transmittance in ambient and dry envirnments cannot be resolved (fully dense).

    for production throughput, while minimum rates are desired for greater densi?cation. A suitable ion-assist process should be established with production deposition rates, reducing the rates as needed to achieve suf? cient densi?cation.

    IAD PROCESS EXAMPLE

    These concepts were utilized to establish a process for ion-assisted deposition of hafnia/silica multilayer coatings in a 45-inch coating chamber with planetary rotation. Hafnia in particular requires a high ion dose for densi? cation, more than triple that required for other commonly-used oxides such as titania, tantala, and silica [7]. Hafnium metal and silica granules were used as the source materials in dual electron-beam sources. A KRI eH3000 with a hollow-cathode neutralizer was installed 11” from chamber center, pointing 15º from vertical toward the chamber center. The source was operated with a 150V/20A discharge using a 85/15 O2/Ar gas mixture for improved densi? cation. The coating process was established with no additional substrate heating, to allow processing of thermally-sensitive substrates as well as providing faster cycle times.

    Initially, the aim was to establish a process for densi?cation of hafnia. Since it is a signi?cantly larger and higher-melting­temperature molecule than silica, it required greater momentum and energy transfer to densify. The KRI eH3000 was operated

    Fig.2- In?uence of humidity on a densi?ed hafnia layer. Note that the difference between the ? lm transmittance in ambient and dry environments cannot be resolved, indicating minimal diffusion of water in the ?lm.

    require an ion beam current up to 5A.

    Gases

    Ion sources typically utilize non-reactive gases such as argon, though the deposition of oxides, particularly refractory oxides such as hafnia, tantala, titania, etc., require the addition of oxygen during the deposition. The effective high-vacuum pumping speed must be suf?cient to maintain the chamber pressure in the 10-4 Torr range or lower, while gases are introduced at the established process ?ow rates. Maintaining such a process pressure optimizes operation of the End-Hall ion source and avoids energy loss for the beam ions due to molecular collisions. Gas selection may also be used to modify the ? lm densi?cation. For instance, the addition of a small amount (10-20%) of Ar to the O2 gas in an End-Hall source can provide signi?cant improvements in densi? cation, since the mass of Ar is 25% greater than that of an O2 molecule. If still greater ion momentum is required, the use of Kr or Xe gases provides a substantial increase in momentum, while still using an inert gas.

    Deposition Rate

    The ?lm deposition rate establishes the ion/atom ratio, which signi? cantly in? uences the ? lm densi?cation. For a given beam current, slower deposition provides greater opportunity for the ion beam to compact the surface of the ? lm, creating a more dense coating. Maximum deposition rates are desired


    Copyright © 2010 by Kaufman & Robinson, Inc., 1306 Blue Spruce Drive, Unit A, Fort Collins, CO 80524 Tel: 970-495-0187, Fax: 970-484-9350, Internet: www.ionsources.com

    with a 20A discharge to provide maximum densi?cation, but the use of 100% O2 through the source resulted in ?lms exhibiting spectral shift given the ambient deposition temperature and large coating system. By modifying the gas ?ow to include 15% Ar / 85% O2, full densi?cation of hafnia was achieved at 150V without intentional substrate heating. Spectral measurements of a hafnia single-layer coating at 40% RH and N2-purged 0% RH are shown in Fig. 2. Spectral shift is essentially eliminated through the use of the high-current eH3000, while enabling the coating to pass severe abrasion testing per MIL-C-675.

    Silica can be expected to densify at lower ion source power, so ion source output may be reduced. However, it is often easier to maintain the source at constant output for all layers, provided suf? cient densi?cation is achieved. Fabrication and testing of a 9-layer multilayer high-re?ector coating was performed under identical process conditions. The use of an abbreviated high-re?ector coating was utilized, since it exhibits greater sensitivity to humidity shift. The results are shown in Fig. 3.

    The measurements of both the single hafnia layer and the hafnia/silica multilayer exhibit no spectral shift as the ambient humidity of the surrounding environment is varied. This indicates an absence of porosity in the ? lm, con?rming suf? cient ion ?ux was present to fully-densify both the hafnia and silica layers without the use of substrate heating. It should be noted that operation of the ion source will lead to some heating of the substrate surface, and process development must be matched to the length of deposition and the relative thermal sensitivity of the substrate material.

    CONCLUSIONS

    The use of an End-Hall ion source provides high current output suf?cient to fully densify hafniasilica multilayer coatings in a production-scale electron-beam deposition system. As larger area coatings are deposited in production deposition systems, the required beam current increases, necessitating the use of larger ion sources such as the KRI eH3000. Additionally, should the use of 100% O2 through the ion source prove insuf?cient for the degree of densi?cation required, the use of a low fraction of a more massive gas such as Ar, Kr, or Xe may be incorporated to provide full densi?cation at low beam voltage. Careful determination of source location and pointing can lead to uniform ion ?ux distribution over large substrate areas, making the integration of an End-Hall source in a production process highly effective, even for large optics.

    REFERENCES

    [1] J.B. Oliver et al, “Optimization of laserdamage resistance of evaporated hafnia at 351nm,” Proc. SPIE 7132 (2008).

    [2] J.B. Oliver et al, “High precision coating technology for large aperture NIF optics,” in Optical Interference Coatings, OSA Tech. Digest, p. ThD2, OSA, Washington D.C. (2001).

    [3] H.R. Kaufman and R.S. Robinson, “End-Hall ion source,”

    U.S. Patent 4862032 (1989).

    [4] J.B. Oliver and D. Talbot, “Optimization of deposition uniformity for large-aperture National Ignition Facility substrates in a planetary rotation system,” Appl. Opt. 45, 3097-3105 (2006).

    [5] H. Kaufman and J. Harper, “Development and Applications of Ion Sources,” Proc. of SVC (2007).

    [6] A. Anders, “Plasma and Ion Assistance in Physical Vapor Deposition: A Historical Perspective,” Lawrence Berkeley Nat. Lab. (2007).

    [7] H.R. Kaufman and J.M.E. Harper, “Ion Doses for Low-Energy Ion-Assist Applications,” J. Vac. Sci. & Tech., A22 (1), pp. 221-4 (2004)

     

    其他产品
    网易彩票网易彩票app 洛扎县 | 昆明市 | 太白县 | 平顺县 | 班玛县 | 灵山县 | 饶平县 | 金昌市 | 富平县 | 汝阳县 | 互助 | 华坪县 | 南宁市 | 开平市 | 会泽县 | 南宫市 | 荣昌县 | 探索 | 邛崃市 | 光山县 | 凤山市 | 托克托县 | 洛浦县 | 东明县 | 玛曲县 | 通化县 | 巴塘县 | 兴隆县 | 龙门县 | 武川县 | 科技 | 台中县 | 克什克腾旗 | 沾化县 | 康乐县 | 崇明县 | 竹山县 | 玛纳斯县 | 噶尔县 | 肇源县 | 文昌市 | 隆化县 | 宝清县 | 贵南县 | 清徐县 | 连城县 | 浠水县 | 商丘市 | 南昌市 | 通许县 | 吉安市 | 上杭县 | 巩义市 | 房山区 | 新建县 | 太湖县 | 环江 | 珲春市 | 山西省 | 丹凤县 | 行唐县 | 鹤岗市 | 蓬莱市 | 叶城县 | 宜良县 | 兴仁县 | 吉隆县 | 东乡 | 林周县 | 峡江县 | 太原市 | 奎屯市 | 轮台县 | 延吉市 | 司法 | 棋牌 | 沅江市 | 宁蒗 | 阿克苏市 | 六盘水市 | 鲜城 | 治多县 | 万宁市 | 白玉县 | 泰兴市 | 新宁县 | 榆社县 | 阿克 | 秦皇岛市 | 宁晋县 | 灵丘县 | 台北市 | 砚山县 | 鲜城 | 滨州市 | 邮箱 | 宁陕县 | 玛多县 | 晋州市 | 辽源市 | 富蕴县 | 搜索 | 兖州市 | 双柏县 | 青阳县 | 封丘县 | 蕲春县 | 汪清县 | 屏南县 | 普兰店市 | 乐平市 | 长寿区 | 云梦县 | 乌审旗 | 百色市 | 清水县 | 庆元县 | 日土县 | 雅安市 | 施秉县 | 墨竹工卡县 | 商南县 | 汕头市 | 邳州市 | 大名县 | 雷山县 | 岳池县 | 弥渡县 | 天水市 | 建阳市 | 清水河县 | 邓州市 | 浮山县 | 太白县 | 秦皇岛市 | 莱阳市 | 铅山县 | 从江县 | 惠州市 | 抚宁县 | 巩留县 | 泰来县 | 江西省 | 连江县 | 邵东县 | 绥芬河市 | 丹江口市 | 巨鹿县 | 丹江口市 | 津南区 | 金乡县 | 寻乌县 | 加查县 | 西贡区 | 商河县 | 娄底市 | 香格里拉县 | 遂溪县 | 焉耆 | 凤山县 | 莱州市 | 临海市 | 铜梁县 | 石首市 | 保德县 | 松溪县 | 鹤山市 | 拜城县 | 临朐县 | 湟中县 | 化州市 | 灵石县 | 邮箱 | 英吉沙县 | 滨海县 | 贺州市 | 永春县 | 阜阳市 | 洪江市 | 石狮市 | 盱眙县 | 滁州市 | 银川市 | 宁南县 | 郓城县 | 岳阳市 | 昌平区 | 偃师市 | 昌图县 | 保山市 | 靖江市 | 库伦旗 | 十堰市 | 麻城市 | 壤塘县 | 濮阳县 | 万载县 | 邵阳县 | 绿春县 | 万山特区 | 清水县 | 双牌县 | 文山县 | 高邮市 | 彭泽县 | 象州县 | 荆州市 | 宿州市 | 内黄县 | 都昌县 | 玉山县 | 竹溪县 | 宁国市 | 莲花县 | 江城 | 关岭 | 滁州市 | 牙克石市 | 甘南县 | 阿拉善盟 | 德惠市 | 龙门县 | 哈巴河县 | 若羌县 | 文安县 | 阳高县 | 财经 | 安陆市 | 庆城县 | 韩城市 | 木里 | 永城市 | 仲巴县 | 兴宁市 | 玉树县 | 全州县 | 梨树县 | 木兰县 | 望都县 | 哈尔滨市 | 修武县 | 蓬莱市 | 兴海县 | 安远县 | 静安区 | 沈丘县 | 东宁县 | 庄河市 | 万州区 | 枣阳市 | 怀集县 | 贡觉县 | 鄂托克旗 | 余江县 | 屯昌县 | 东城区 | 滨海县 | 新源县 | 久治县 | 河间市 | 茶陵县 | 雷波县 | 东阳市 | 会东县 | 广丰县 | 留坝县 | 昭平县 | 区。 | 唐山市 | 西乡县 | 扎兰屯市 | 呼伦贝尔市 | 聊城市 | 临朐县 | 波密县 | 曲周县 | 泾阳县 | 镇安县 | 盐山县 | 小金县 | 巴马 | 平泉县 | 旺苍县 | 重庆市 | 旺苍县 | 阜城县 | 云南省 | 吐鲁番市 | 宁陕县 | 始兴县 | 金坛市 | 区。 | 大竹县 | 景德镇市 | 温州市 | 武宣县 | 嘉定区 | 乌鲁木齐县 | 修文县 | 凌云县 | 东兴市 | 突泉县 | 杂多县 | 托里县 | 二连浩特市 | 汽车 | 丰都县 | 筠连县 | 正镶白旗 | 宜兴市 | 遵化市 | 腾冲县 | 灵川县 | 景德镇市 | 汶川县 | 西贡区 | 台中市 | 堆龙德庆县 | 河西区 | 德令哈市 | 宝丰县 | 都兰县 | 松潘县 | 缙云县 | 湖北省 | 钟山县 | 视频 | 长岛县 | 砀山县 | 杭州市 | 军事 | 光泽县 | 政和县 | 呼伦贝尔市 | 和平县 | 金昌市 | 淄博市 | 平遥县 | 浦县 | 保山市 | 叙永县 | 云和县 | 曲周县 | 静宁县 | 婺源县 | 天津市 | 石狮市 | 治多县 | 象州县 | 松溪县 | 民勤县 | 历史 | 马鞍山市 | 黄骅市 | 潼关县 | 精河县 | 新建县 | 延川县 | 金堂县 | 嵊州市 | 新龙县 | 南靖县 | 鲁山县 | 清远市 | 确山县 | 襄垣县 | 双城市 | 嘉祥县 | 三明市 | 金坛市 | 岑溪市 | 华容县 | 沁阳市 | 会东县 | 武强县 | 隆子县 | 大邑县 | 金塔县 | 宁明县 | 浙江省 | 建德市 | 汤阴县 | 易门县 | 南川市 | 金门县 | 惠来县 | 古蔺县 | 敦化市 | 施秉县 | 绍兴市 | 安阳市 | 临夏县 | 务川 | 恩平市 | 金乡县 | 平和县 | 长宁区 | 镇原县 | 体育 | 云龙县 | 山东省 | 荔波县 | 涞水县 | 祁阳县 | 资源县 | 湄潭县 | 静乐县 | 买车 | 台东县 | 红原县 | 宣汉县 | 太谷县 | 京山县 | 太仓市 | 云浮市 | 肥城市 | 西峡县 | 塘沽区 | 临漳县 | 阜城县 | 定西市 | 凤山县 | 都匀市 | 长宁区 | 社旗县 | 哈巴河县 | 横峰县 | 桂平市 | 盐亭县 | 德阳市 | 大埔县 | 松溪县 | 临澧县 | 攀枝花市 | 原阳县 | 城固县 | 德州市 | 麻阳 | 沈丘县 | 宁陕县 | 登封市 | 巨野县 | 玉树县 | 宜州市 | 绵阳市 | 晋州市 | 灯塔市 | 临猗县 | 宜兰县 | 理塘县 | 疏勒县 | 兴仁县 | 绿春县 | 新绛县 | 株洲市 | 襄汾县 | 太白县 | 昔阳县 | 四平市 | 晴隆县 | 临潭县 | 亳州市 | 桑日县 | 乌审旗 | 孝义市 | 福安市 | 汪清县 | 大洼县 | 金平 | 确山县 | 资兴市 | 长春市 | 象山县 | 宜黄县 | 三原县 | 凤冈县 | 香河县 | 通化市 | 太原市 | 南汇区 | 璧山县 | 内乡县 | 台中县 | 吴忠市 | 囊谦县 | 通化县 | 贡觉县 | 拉孜县 | 义乌市 | 千阳县 | 巴林右旗 | 龙岩市 | 濮阳县 | 南木林县 | 德清县 | 巴中市 | 镇安县 | 宣恩县 | 蛟河市 | 巍山 | 芒康县 | 武安市 | 新和县 | 岑巩县 | 莒南县 | 阳曲县 | 桂阳县 | 邵武市 | 郓城县 | 台北县 | 金塔县 | 于田县 | 新野县 | 娄底市 | 普兰店市 | 富蕴县 | 桐城市 | 额济纳旗 | 焦作市 | 营口市 | 札达县 | 会昌县 | 壤塘县 | 沅陵县 | 抚松县 | 南木林县 | 丹凤县 | 濉溪县 | 奇台县 | 准格尔旗 | 长寿区 | 崇仁县 | 达日县 | 民权县 | 永新县 | 桃江县 | 莱西市 | 晋中市 | 拜城县 | 沭阳县 | 黎平县 | 海丰县 | 白河县 | 西丰县 | 桂林市 | 翁牛特旗 | 邓州市 | 石河子市 | 呼伦贝尔市 | 无锡市 | 道孚县 | 潞西市 | 广德县 | 永顺县 | 福贡县 | 读书 | 大丰市 | 右玉县 | 济宁市 | 三台县 | 冕宁县 | 阳信县 | 香河县 | 伊川县 | 阿拉善右旗 | 黄龙县 | 张北县 | 淮阳县 | 彭水 | 壤塘县 | 崇文区 | 桐梓县 | 济阳县 | 漳州市 | 新建县 | 嫩江县 | 上饶县 | 安西县 | 井陉县 | 新沂市 | 班戈县 | 福鼎市 | 苏州市 | 五大连池市 | 桓仁 | 手机 | 甘泉县 | 习水县 | 宜丰县 | 肥乡县 | 泗洪县 | 衡阳市 | 乌拉特前旗 | 塔城市 | 五原县 | 九寨沟县 | 永安市 | 郎溪县 | 江山市 | 白城市 | 蓝山县 | 邮箱 | 桃江县 | 景宁 | 河间市 | 岳阳县 | 汽车 | 通河县 | 南部县 | 肥乡县 | 正安县 | 延安市 | 和硕县 | 澜沧 | 浦东新区 | 塔河县 | 灵台县 | 临漳县 | 高邮市 | 高青县 | 灵川县 | 长葛市 | 贵州省 | 郴州市 | 台安县 | 女性 | 柘城县 | 余干县 | 宣威市 | 阳山县 | 嵊州市 | 隆子县 | 柳林县 | 盐山县 | 峨眉山市 | 土默特左旗 | 江山市 | 梅州市 | 寿宁县 | 遵义县 | 龙井市 | 汪清县 | 保山市 | 三江 | 马公市 | 外汇 | 绥江县 | 成安县 | 商水县 | 清水河县 | 石首市 | 琼结县 | 射阳县 | 舟山市 | 会昌县 | 万宁市 | 罗田县 | 博客 | 曲松县 | 凯里市 | 土默特左旗 | 阳山县 | 浪卡子县 | 霍州市 | 清丰县 | 凭祥市 | 鄂托克前旗 | 西乌珠穆沁旗 | 兴化市 | 阳泉市 | 雅安市 | 黄龙县 | 卓资县 | 松桃 | 武平县 | 桓台县 | 天等县 | 黄平县 | 馆陶县 | 乌拉特中旗 | 襄樊市 | 万载县 | 南江县 | 昆山市 | 托克逊县 | 富民县 | 安国市 | 南雄市 | 郯城县 | 南华县 | 肥西县 | 仁怀市 | 津南区 | 盈江县 | 南部县 | 海门市 | 淮滨县 | 龙游县 | 奎屯市 | 白河县 | 芜湖县 | 古蔺县 | 遵义县 | 阳原县 | 恩施市 | 津南区 | 宜黄县 | 利辛县 | 建湖县 | 河东区 | 宜昌市 | 托里县 | 石河子市 | 诸暨市 | 鄂尔多斯市 | 常宁市 | 湾仔区 | 望都县 | 林口县 | 漠河县 | 湘乡市 | 内黄县 | 融水 | 阿拉善右旗 | 南漳县 | 马边 | 河北区 | 泰来县 | 临江市 | 冕宁县 | 肇庆市 | 资中县 | 玉树县 | 平罗县 | 义马市 | 涿州市 | 贵阳市 | 乌拉特前旗 | 绥阳县 | 金山区 | 长子县 | 黄平县 | 娄烦县 | 资兴市 | 建始县 | 邮箱 | 广宁县 | 寿阳县 | 中宁县 | 宣化县 | 科尔 | 齐齐哈尔市 | 明光市 | 北京市 | 乐都县 | 永泰县 | 周至县 | 富川 | 钟祥市 | 百色市 | 滦南县 | 建瓯市 | 襄城县 | 云霄县 | 东辽县 | 荆州市 | 长宁县 | 宁河县 | 杂多县 | 双鸭山市 | 金门县 | 尼玛县 | 寿阳县 | 怀仁县 | 宣武区 | 拜泉县 | 微山县 | 三明市 | 罗平县 | 巴东县 | 万山特区 | 通海县 | 长寿区 | 融水 | 连江县 | 广饶县 | 静乐县 | 昆明市 | 岱山县 | 兴城市 | 中山市 | 类乌齐县 | 科技 | 陆河县 | 四会市 | 永川市 | 贞丰县 | 泰兴市 | 喀什市 | 荆州市 | 滦平县 | 石泉县 | 监利县 | 密山市 | 抚州市 | 湘潭市 | 菏泽市 | 江津市 | 柯坪县 | 乐陵市 | 通江县 | 桃园市 | 桐乡市 | 大田县 | 积石山 | 巴东县 | 大新县 | 新竹县 | 杨浦区 | 抚顺市 | 六枝特区 | 天峨县 | 上高县 | 当涂县 | 临汾市 | 瓮安县 | 中宁县 | 右玉县 | 横山县 | 宁海县 | 武宁县 | 西乌珠穆沁旗 | 交口县 | 潞西市 | 六安市 | 敖汉旗 | 资阳市 | 武鸣县 | 西林县 | 昌邑市 | 桃园县 | 永顺县 | 积石山 | 内丘县 | 扎兰屯市 | 盐城市 | 黎平县 | 西城区 | 玉山县 | 永宁县 | 郁南县 | 西畴县 | 长岛县 | 钟山县 | 庆安县 | 磐安县 | 黎川县 | 九龙城区 | 康马县 | 焦作市 | 天水市 | 抚顺市 | 博罗县 | 宁蒗 | 全南县 | 策勒县 | 罗田县 | 黎城县 | 沙坪坝区 | 平和县 | 阿拉善左旗 | 沭阳县 | 内丘县 | 屯留县 | 邢台市 | 冷水江市 | 玉溪市 | 永和县 | 安图县 | 新乐市 | 固镇县 | 闻喜县 | 沈阳市 | 民县 | 松桃 | 大兴区 | 改则县 | 邻水 | 吴旗县 | 江油市 | 盐边县 | 泽州县 | 普格县 | 南丹县 | 徐州市 | 二连浩特市 | 石阡县 | 子洲县 | 交口县 | 东丽区 | 古蔺县 | 怀化市 | 天峨县 | 绥阳县 | 上犹县 | 长岭县 | 托克逊县 | 肥西县 | 松滋市 | 河西区 | 广宗县 | 广平县 | 阿坝 | 尼勒克县 | 苏州市 | 高唐县 | 应城市 | 铅山县 | 湖南省 | 永福县 | 凭祥市 | 绥芬河市 | 新蔡县 | 古交市 | 屏南县 | 海原县 | 贞丰县 | 剑河县 | 招远市 | 婺源县 | 长汀县 | 五家渠市 | 吉水县 | 吴堡县 | 江孜县 | 江山市 | 中牟县 | 衡东县 | 九龙坡区 | 钦州市 | 获嘉县 | 涞水县 | 临西县 | 科尔 | 高平市 | 黄陵县 | 偏关县 | 隆回县 | 乃东县 | 射洪县 | 临邑县 | 沙湾县 | 平谷区 | 仪征市 | 达日县 | 西充县 | 汪清县 | 纳雍县 | 平乡县 | 屯门区 | 樟树市 | 阳新县 | 岳池县 | 林甸县 | 孟村 | 浑源县 | 浦县 | 凤阳县 | 内黄县 | 开鲁县 | 阿坝 | 阿坝县 | 缙云县 | 合阳县 | 璧山县 | 桂东县 | 揭东县 | 页游 | 永善县 | 榆社县 | 乐昌市 | 微山县 | 洪湖市 | 亚东县 | 怀来县 | 囊谦县 | 湘西 | 大埔区 | 保康县 | 芒康县 | 新河县 | 乐业县 | 上饶市 | 吴川市 | 越西县 | 芜湖市 | 牙克石市 | 武山县 | 淮阳县 | 克东县 | 巴彦淖尔市 | 吐鲁番市 | 曲水县 | 永济市 | 元江 | 得荣县 | 深州市 | 岑溪市 | 贵州省 | 财经 | 衢州市 | 辉南县 | 射阳县 | 泸州市 | 南宁市 | 驻马店市 | 清丰县 | 汶川县 | 神池县 | 津市市 | 临安市 | 界首市 | 凌海市 | 漳平市 | 汉沽区 | 广南县 | 福清市 | 襄樊市 | 大关县 | 康马县 | 虎林市 | 涞源县 | 娄烦县 | 文水县 | 谷城县 | 临沭县 | 桃江县 | 聂荣县 | 永吉县 | 井研县 | 弥渡县 | 集安市 | 太湖县 | 宜阳县 | 阳信县 | 金溪县 | 黄浦区 | 盐亭县 | 罗田县 | 康平县 | 通海县 | 苍溪县 | 西乌珠穆沁旗 | 玉田县 | 墨竹工卡县 | 泰宁县 | 湟中县 | 旅游 | 炉霍县 | 夏津县 | 昌吉市 | 宣汉县 | 邳州市 | 蒲江县 | 长泰县 | 遂昌县 | 宁明县 | 敖汉旗 | 讷河市 | 嘉鱼县 | 乌兰浩特市 | 大洼县 | 交城县 | 宁城县 | 桐城市 | 崇明县 | 万宁市 | 项城市 | 济源市 | 土默特右旗 | 中山市 | 抚松县 | 宁南县 | 潢川县 | 汶川县 | 五莲县 | 渭南市 | 晋城 | 盐津县 | 孟州市 | 巨野县 | 焉耆 | 全州县 | 南木林县 | 东兴市 | 齐齐哈尔市 | 缙云县 | 五河县 | 巴里 | 聊城市 | 白水县 | 虞城县 | 定日县 | 中江县 | 丰县 | 汉川市 | 炎陵县 | 石家庄市 | 西华县 | 乌审旗 | 手游 | 凤山县 | 阿克苏市 | 榆社县 | 巩留县 | 密云县 | 陇西县 | 女性 | 仁布县 | 横峰县 | 拜泉县 | 汽车 | 沂水县 | 扶风县 | 布拖县 | 龙州县 | 中卫市 | 察隅县 | 南靖县 | 成武县 | 竹山县 | 宜君县 | 华亭县 | 建瓯市 | 荆州市 | 密云县 | 东宁县 | 海南省 | 临海市 | 和龙市 | 阿拉善左旗 | 龙岩市 | 喜德县 | 荥经县 | 烟台市 | 卓资县 | 大渡口区 | 两当县 | 松溪县 | 杭锦后旗 | 宾川县 | 博白县 | 呼伦贝尔市 | 马关县 | 黄石市 | 仁布县 | 彝良县 | 大宁县 | 哈尔滨市 | 张家港市 | 新丰县 | 伊春市 | 宁强县 | 镇远县 | 敖汉旗 | 四川省 | 枣庄市 | 陈巴尔虎旗 | 贺兰县 | 新野县 | 珲春市 | 富裕县 | 石门县 | 鱼台县 | 教育 | 普格县 | 汝城县 | 柳州市 | 五莲县 | 马公市 | 余江县 | 长顺县 | 东明县 | 太和县 | 三穗县 | 和龙市 | 武强县 | 尚志市 | 云阳县 | 宜兰县 | 福泉市 | 舟山市 | 社会 | 巴里 | 剑河县 | 金华市 | 张家港市 | 宝山区 | 中超 | 镇原县 | 海林市 | 资兴市 | 德钦县 | 红河县 | 岳普湖县 | 临澧县 | 榆林市 | 五河县 | 独山县 | 大丰市 | 新宁县 | 穆棱市 | 宝清县 | 鹤岗市 | 甘南县 | 新化县 | 德昌县 | 霍林郭勒市 | 卢龙县 | 巍山 | 姚安县 | 沅陵县 | 依安县 | 镇安县 | 新津县 | 台北县 | 舒城县 | 安化县 | 泾川县 | 天柱县 | 吴旗县 | 岫岩 | 府谷县 | 绩溪县 | 玉田县 | 滁州市 | 城市 | 徐州市 | 天门市 | 都江堰市 | 泸溪县 | 六安市 | 封开县 | 沅陵县 | 日喀则市 | 沧源 | 东阿县 | 大同市 | 云林县 | 吉首市 | 寿光市 | 同仁县 | 宕昌县 | 北京市 | 会泽县 | 清流县 | 仙居县 | 静乐县 | 客服 | 沈阳市 | 桃源县 | 开封县 | 胶州市 | 五台县 | 康乐县 | 礼泉县 | 乳源 | 禄丰县 | 滦平县 | 湛江市 | 婺源县 | 贺州市 | 益阳市 | 札达县 | 肥东县 | 海淀区 | 延吉市 | 瓮安县 | 方山县 | 兴安县 | 咸阳市 | 饶河县 | 哈尔滨市 | 孝义市 | 伊宁市 | 思茅市 | 广宁县 | 西乌珠穆沁旗 | 门源 | 彩票 | 丹巴县 | 天津市 | 金阳县 | 东平县 | 漳州市 | 健康 | 疏附县 | 图片 | 大洼县 | 万载县 | 武陟县 | 濮阳市 | 都安 | 东安县 | 沧源 | 钟山县 | 新余市 | 潼南县 | 双鸭山市 | 上虞市 | 深圳市 | 彩票 | 黑水县 | 克什克腾旗 | 和林格尔县 | 普安县 | 将乐县 | 射阳县 | 邢台县 | 额济纳旗 | 江西省 | 聂荣县 | 汉源县 | 长宁区 | 方城县 | 泰安市 | 嘉兴市 | 衡阳市 | 读书 | 萍乡市 | 岳阳县 | 瑞丽市 | 高淳县 | 永川市 | 绍兴市 | 安义县 | 常德市 | 湘乡市 | 龙南县 | 临汾市 | 神池县 | 武夷山市 | 霸州市 | 常宁市 | 孝义市 | 长宁县 | 建德市 | 博野县 | 海宁市 | 武陟县 | 科技 | 鹤壁市 | 广河县 | 隆化县 | 正镶白旗 | 梁平县 | 新昌县 | 二连浩特市 | 南宫市 | 修文县 | 呈贡县 | 呼玛县 | 建宁县 | 丹江口市 | 肥城市 | 梁山县 | 临泉县 | 灵山县 | 临汾市 | 定陶县 | 长治县 | 珠海市 | 岳阳县 | 望都县 | 宾川县 | 大英县 | 石城县 | 册亨县 | 沙洋县 | 大港区 | 彰武县 | 北海市 | 繁峙县 | 米脂县 | 皋兰县 | 增城市 | 玉山县 | 天峻县 | 滕州市 | 滁州市 | 麦盖提县 | 庆阳市 | 木兰县 | 湖口县 | 齐齐哈尔市 | 开阳县 | 济源市 | 西乌珠穆沁旗 | 新巴尔虎右旗 | 吴忠市 | 宜章县 | 宜宾市 | 翼城县 | 灵山县 | 宁乡县 | 长宁区 | 都江堰市 | 顺昌县 | 伊金霍洛旗 | 阳西县 | 如皋市 | 夏河县 | 潢川县 | 亳州市 | 安图县 | 夹江县 | 汽车 | 永登县 | 诏安县 | 泌阳县 | 偃师市 | 晋中市 | 凌海市 | 平阳县 | 天峨县 | 隆回县 | 浮山县 | 恭城 | 英超 | 宝兴县 | 海阳市 | 含山县 | 应城市 | 昆山市 | 通城县 | 长岭县 | 定远县 | 镇原县 | 建瓯市 | 滁州市 | 满城县 | 老河口市 | 北碚区 | 根河市 | 本溪 | 辉县市 | 横峰县 | 永吉县 | 台南市 | 马边 | 辰溪县 | 宜丰县 | 平顶山市 | 正安县 | 子长县 | 巴青县 | 天峻县 | 疏勒县 | 云阳县 | 容城县 | 灌南县 | 富锦市 | 天津市 | 建德市 | 卢氏县 | 东山县 | 鹰潭市 | 博兴县 | 安庆市 | 郓城县 | 盱眙县 | 朝阳县 | 湄潭县 | 永宁县 | 商城县 | 沙雅县 | 镇江市 | 馆陶县 | 鹤岗市 | 临朐县 | 青岛市 | 富锦市 | 宁夏 | 白河县 | 凌海市 | 东阳市 | 乌兰县 | 交城县 | 江永县 | 察雅县 | 原平市 | 富锦市 | 彝良县 | 乐业县 | 黄梅县 | 周口市 | 平南县 | 黔西 | 乐业县 | 开封市 | 崇礼县 | 新泰市 | 蒙自县 | 馆陶县 | 兴国县 | 凤台县 | 清水河县 | 宝山区 | 佛冈县 | 东莞市 | 年辖:市辖区 | 四平市 | 宣汉县 | 城口县 | 祁连县 | 石家庄市 | 南投县 | 姚安县 | 始兴县 | 炉霍县 | 玉门市 | 保德县 | 宁波市 | 郑州市 | 习水县 | 清新县 | 嘉善县 | 琼中 | 苍山县 | 布尔津县 | 太和县 | 读书 | 罗平县 | 莲花县 | 深圳市 | 瓦房店市 | 鄂托克旗 | 永康市 | 舟山市 | 阳城县 | 沁阳市 | 桑日县 | 扶余县 | 琼结县 | 揭阳市 | 高雄县 | 隆安县 | 涞水县 | 洪洞县 | 阳江市 | 深水埗区 | 平遥县 | 凤凰县 | 类乌齐县 | 淳安县 | 拉萨市 | 云南省 | 肇州县 | 金坛市 | 伊宁县 | 长宁区 | 阿拉善右旗 | 固始县 | 哈密市 | 贺州市 | 华宁县 | 简阳市 | 华宁县 | 栾城县 | 和平县 | 海晏县 | 南川市 | 马龙县 | 舟山市 | 镇雄县 | 新民市 | 天长市 | 犍为县 | 县级市 | 临朐县 | 眉山市 | 湖口县 | 理塘县 | 合川市 | 维西 | 延津县 | 宽城 | 玛曲县 | 忻州市 | 襄汾县 | 鸡东县 | 石狮市 | 广昌县 | 绵竹市 | 电白县 | 合山市 | 朝阳市 | 金秀 | 合肥市 | 皋兰县 | 巩义市 | 营口市 | 曲周县 | 红安县 | 利川市 | 巧家县 | 邹城市 | 广丰县 | 高青县 | 汾西县 | 龙井市 | 永嘉县 | 封丘县 | 娄烦县 | 松江区 | 都昌县 | 台州市 | 湟源县 | 成武县 | 木里 | 奇台县 | 布尔津县 | 姜堰市 | 漾濞 | 海原县 | 新田县 | 三亚市 | 肇庆市 | 婺源县 | 西乌珠穆沁旗 | 康平县 | 汾西县 | 汶川县 | 邵武市 | 和田市 | 宿迁市 | 尼玛县 | 蛟河市 | 始兴县 | 新平 | 岳阳县 | 沙田区 | 安达市 | 郁南县 | 手机 | 塘沽区 | 大余县 | 永靖县 | 平邑县 | 平果县 | 和顺县 | 溧阳市 | 古丈县 | 金寨县 | 盐津县 | 菏泽市 | 茌平县 | 睢宁县 | 景谷 | 仁寿县 | 册亨县 | 荣昌县 | 黄陵县 | 辉县市 | 习水县 | 余庆县 | 永顺县 | 多伦县 | 中山市 | 中超 | 宜都市 | 灌南县 | 鄂伦春自治旗 | 罗甸县 | 台山市 | 肃南 | 福泉市 | 鹿泉市 | 淅川县 | 靖远县 | 府谷县 | 达日县 | 邵阳县 | 大埔区 | 镇巴县 | 盐亭县 | 宜丰县 | 清原 | 新田县 | 乾安县 | 鹤庆县 | 沛县 | 施甸县 | 醴陵市 | 大庆市 | 巴中市 | 贡山 | 南漳县 | 龙游县 | 甘德县 | 浦东新区 | 阳信县 | 青冈县 | 延川县 | 西丰县 | 敦化市 | 乌鲁木齐县 | 高州市 | 长顺县 | 攀枝花市 | 彝良县 | 抚州市 | 炎陵县 | 元朗区 | 甘孜县 | 左贡县 | 历史 | 阳江市 | 台南市 | 清镇市 | 南澳县 | 五家渠市 | 洪雅县 | 凤阳县 | 即墨市 | 麻江县 | 东山县 | 桑植县 | 渭源县 | 景德镇市 | 临高县 | 通山县 | 宿州市 | 大庆市 | 台湾省 | 镇远县 | 固始县 | 融水 | 绥中县 | 宜宾县 | 莆田市 | 土默特左旗 | 四子王旗 | 白银市 | 哈尔滨市 | 陵川县 | 阿鲁科尔沁旗 | 彩票 | 宣城市 | 上蔡县 | 汪清县 | 邢台县 | 眉山市 | 济宁市 | 闸北区 | 花莲县 | 社旗县 | 柳州市 | 武山县 | 稷山县 | 广丰县 | 衡阳县 | 原平市 | 华阴市 | 永福县 | 海阳市 | 晋州市 | 佛冈县 | 阳高县 | 西乌 | 原阳县 | 包头市 | 亚东县 | 茌平县 | 镇原县 | 调兵山市 | 罗源县 | 广灵县 | 晋城 | 盐山县 | 从江县 | 离岛区 | 舟曲县 | 行唐县 | 泉州市 | 乌海市 | 吉水县 | 治多县 | 同江市 | 晴隆县 | 慈溪市 | 枣强县 | 台江县 | 汕尾市 | 海盐县 | 贺兰县 | 甘德县 | 五常市 | 习水县 | 穆棱市 | 股票 | 巴南区 | 桂平市 | 南靖县 | 贵定县 | 临泽县 | 广汉市 | 柏乡县 | 庆云县 | 尉犁县 | 双柏县 | 阳山县 | 彭阳县 | 宿松县 | 呼图壁县 | 东方市 | 辛集市 | 沁源县 | 肃宁县 | 繁昌县 | 叶城县 | 宁安市 | 中卫市 | 乌鲁木齐市 | 玉门市 | 左贡县 | 尖扎县 | 惠州市 | 海口市 | 化州市 | 罗山县 | 石渠县 | 玉门市 | 怀安县 | 上思县 | 屯昌县 | 安泽县 | 阿坝 | 池州市 | 固镇县 | 富锦市 | 开封县 | 民和 | 皋兰县 | 灵寿县 | 张家川 | 永康市 | 蒲城县 | 沂源县 | 广灵县 | 钟山县 | 苏州市 | 张掖市 | 石河子市 | 楚雄市 | 定襄县 | 海门市 | 明水县 | 酒泉市 | 扎鲁特旗 | 塔河县 | 仪征市 | 襄汾县 | 芦溪县 | 乐陵市 | 田东县 | 古浪县 | 连云港市 | 密云县 | 穆棱市 | 金秀 | 沁源县 | 始兴县 | 宜昌市 | 西城区 | 通榆县 | 绥芬河市 | 冷水江市 | 尚义县 | 呼玛县 | 镶黄旗 | 安平县 | 大宁县 | 娄烦县 | 阿拉善盟 | 如东县 | 常州市 | 台南市 | 兰西县 | 北辰区 | 巍山 | 陆丰市 | 二手房 | 顺平县 | 河津市 | 佛冈县 | 资中县 | 筠连县 | 肥城市 | 工布江达县 | 宁化县 | 中西区 | 象州县 | 余姚市 | 大同市 | 息烽县 | 昌黎县 | 金溪县 | 陇南市 | 新宁县 | 宁南县 | 黄山市 | 赞皇县 | 南召县 | 湘乡市 | 上高县 | 且末县 | 万源市 | 延津县 | 且末县 | 浪卡子县 | 富阳市 | 大方县 | 汾阳市 | 尼勒克县 | 石狮市 | 湛江市 | 子洲县 | 乌拉特中旗 | 柳河县 | 资中县 | 揭阳市 | 凤阳县 | 土默特右旗 | 阜新 | 黔南 | 罗山县 | 育儿 | 留坝县 | 罗甸县 | 河北区 | 开平市 | 台前县 | 长武县 | 普兰店市 | 甘泉县 | 札达县 | 上饶县 | 武威市 | 香格里拉县 | 汾西县 | 清徐县 | 赞皇县 | 闽清县 | 犍为县 | 竹山县 | 莎车县 | 美姑县 | 南皮县 | 神木县 | 拜泉县 | 南投市 | 伊宁县 | 双城市 | 潞城市 | 南和县 | 东丰县 | 红河县 | 略阳县 | 高碑店市 | 措美县 | 丹棱县 | 吉木乃县 | 包头市 | 蓝田县 | 兰州市 | 图片 | 承德县 | 汪清县 | 循化 | 垫江县 | 临高县 | 南漳县 | 和田县 | 安国市 | 远安县 | 大新县 | 济阳县 | 和林格尔县 | 皮山县 | 木里 | 博罗县 | 贺兰县 | 霞浦县 | 芜湖市 | 天峨县 | 泽库县 | 博客 | 嘉祥县 | 怀化市 |