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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    镀膜机
    阅读数: 6416

    镀膜机

    伯东公司 镀膜机-灵活设计适合技术研究、开发和生产,可实现高真空蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,离子镀.镀膜机(高真空镀膜系统)经过大量实验和技术知识积累研发设计,通过ISO 9001认证, ISO 14001认证,低能耗
    主要应用领域: 半导体,光学,微电子学,显示屏,光电工程,表面处理等行业.

    镀膜机主要型号包含:
    镀膜机(科研,小型研发)
    镀膜机(科研,小规模生产)
    镀膜机 (批量生产)
    镀膜机 (生产线大批量生产)
    镀膜机 (高吞吐量,通用的制造系统,满足最高工业需求)
    镀膜机 (最大吞吐量)

    镀膜机主要优势:
    pfeiffer镀膜机腔体
    可搭配多种泵组(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵)
    镀膜机真空腔体可冷却可加热,极限真空度最高可达 < 5 · 10-7 mbar,腔体漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
    真空腔体大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
    镀膜机各种尺寸大小,根据实际应用和气体吞吐量决定
    内置各种标准配件,坚固耐用满足严苛工业环境
    低运营成本,易维护,兼容洁净室
    通过附加配件升级镀膜机功能
    镀膜机所有真空腔体均是不锈钢材质
    通过ISO 9001认证, ISO 14001认证,低能耗

     镀膜机工艺:
    pfeiffer德国普发镀膜机

    镀膜机 蒸镀过程优势:
    pfeiffer 镀膜机蒸镀
    抗反射涂层
    耐划伤性涂料
    激光面镜
    接触金属化
    合金的沉积(Co-evaporation)

     镀膜机 磁控溅射介绍:
    pfeiffer 镀膜机 磁控溅射
    除了高真空蒸镀系统,伯东公司德国普发pfeiffer 也提供磁控溅射腔体可选load-lock.相应型号Classic 250 to 570,有标准版本供选择或根据溅射过程选择(SP)定制版本
    可用于:
    金属层(金、铜、铝、铬、…)
    电介质层(二氧化硅,氧化铝,…)
    透明导电层(ITO
    磁层
    合金的沉积(co-sputtering)

    伯东公司 镀膜机客户现场图片:
    pfeiffer 镀膜机

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