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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列
    阅读数: 5050

    KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

    美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列
    美国 KRI 霍尔离子源 eH 系列紧凑设计, 高电流低能量宽束型离子源, 提供原子等级的细微加工能力, 霍尔离子源 eH 可以有效地以纳米精度来处理薄膜及表面, 多种型号满足科研及工业, 半导体应用. 霍尔离子源高电流提高镀膜沉积速率, 低能量减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区. 整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等可以直接整合在各类真空设备中, 例如镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机等.
    霍尔离子源

    美国 KRI 霍尔离子源 eH 特性
    无栅极
    高电流低能量
    发散光束 >45
    可快速更换阳极模块
    可选 Cathode / Neutralize 中和器

    美国 KRI 霍尔离子源 eH 主要应用
    辅助镀膜 IBAD
    溅镀&蒸镀 PC
    表面改性、激活 SM
    沉积 (DD)
    离子蚀刻 LIBE
    光学镀膜
    Biased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)
    Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)

    例如
    1. 离子辅助镀膜及电子枪蒸镀
    2. 线上式磁控溅射及蒸镀设备预清洗
    3. 表面处理
    4. 表面硬化层镀膜
    5. 磁控溅射辅助镀膜
    7. 偏压离子束磁控溅射镀膜

    美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH

    霍尔离子源 eH 系列在售型号:

    型号

    eH200(停产)

    eH400
    eH400LE

    eH1000
    eH1000LE
    eH1000LO

    eH1000xO2 

    eH2000
    eH2000LE
    eH2000HO 

    eH3000
    eH3000LO
    eH3000MO

    Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

    Cathode/Neutralizer 

    F or HC

    F or HC

    F or HC

    F or HC

    F or HC
    HC
    HC

    HC

    电压

    30-300V

    50-300V
    30-150V

    50-300V
    30-150V
    50-300V

    100-300V

    50-300V
    30-150V
    50-250V

    50-250V
    50-300V
    50-250V

    电流

    2A

    5A
    10A

    10A
    12A
    5A

    10A

    10A
    15A
    15A

    20A
    10A
    15A

    散射角度

    >45

    >45

    >45

    >45

    >45

    >45

    气体流量

    1-15sccm

    2-25sccm

    2-50sccm

    2-50sccm

    2-75sccm

    5-100sccm

    高度

    2.0“

    3.0“

    4.0“

    4.0“

    4.0“

    6.0“

    直径

    2.5“

    3.7“

    5.7“

    5.7“

    5.7“

    9.7“

    水冷

    可选

    可选

    可选

    可选

    F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

     

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