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    电子束蒸发镀膜机 E-Beam
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    电子束蒸发镀膜机 E-Beam

    电子束蒸发镀膜 E-Beam
    上海伯东代理 AdNaNo 铠柏科技 E-Beam 电子束蒸发镀膜机 ( 电子蒸镀 ), 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.

    电子束蒸发

     推荐设备型号: EBS-150
     标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程; 
     右边沉积腔内含一个电子束, 适用于约瑟夫森结,
     特性:
     真空度 5E-8 torr
     最大 8inch 样品
     基本可倾斜 / 旋转
     可选 IBAD
     全自动
     腔室水冷

     

    电子束蒸发

     型号 EBS-150 UHV
     特性:

     真空度 5E-10 torr
     最大 6inch 样品
     基本可倾斜 / 旋转
     可选 IBAD
     全自动
     腔室水冷

     

    电子束蒸发

     型号 EBS-300 Dual
     特性:

     真空度 5E-7 torr
     行星机械手
     双 E-gun
     全自动加工
     软件控制


    E-Beam 电子束蒸发适用于
    Lift-off 工艺
    HMET, PHMET 晶体管
    Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化镓基片欧姆和肖特基接触
    IR waveguides 红外波导
    Thermal barriers 热障
    Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波应用
    MEMS 封装
    超导隧道结


    上海伯东代理 AdNaNo 铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备, 铠柏镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. AdNaNo 电子束蒸发设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!

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