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    上海伯東真空產品事業部搬遷通知

    KRI 考夫曼離子源

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射沉積 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源 (離子槍) 中國總代理.
     

    伯東離子源      精密薄膜控制

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    伯東離子源MEMS,傳感器和顯示器

    考夫曼離子源創始人 Dr.Harold R.Kaufman 簡介

    1926 年在美國出生
    1951 年加入美國 NASA 路易斯研究中心
    1971 年考夫曼博士獲得美國宇航局杰出服務獎
    1978 年考夫曼博士成立了 Kaufman & Robinson,Inc 公司,開始研發生產適合工業使用的霍爾離子源和考夫曼離子源

    KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列

    霍爾離子源無柵極, 高濃度, 低能量寬束型離子源
    發散光束 >45

    KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列

    離子源通過加熱燈絲產生離子束,低濃度高能量寬束型離子源
    利用柵極控制離子束的濃度和方向, 離子束可選集中,平行,散設

    KRI 射頻離子源 Gridded RFICP 系列

    射頻離子源, 提供高能量, 低濃度的離子束, 單次工藝時間更長

    霍爾離子源 eH 400

    霍爾離子源 eH 400
    尺寸:直徑= 3.7“ 高= 3”
    放電電壓: 50-300eV
    電流: 5a

    霍爾離子源 eh400

    KRI 考夫曼離子源 KDC 75

    考夫曼離子源 KDC 75
    尺寸: 直徑= 5.5“ 高= 7.9”
    放電電壓: 100-1200 eV
    電流: 250 mA

    考夫曼離子源

    KRI 考夫曼離子束中和器

    一般使用寬束的工業用離子源,都會使用中和器來達到使用激發電子中和離子的目的。常用來做中和器的像是熱燈絲,電漿橋,或是中空陰極。圖1的架構可適用于有柵極及無柵極的離子源上。若是應用在無柵極的離子源上,中和器稱為陰極中和器。標的物可以是濺鍍的靶材或是要被蝕刻的基材。

    KRI 考夫曼離子源 KDC 10

    考夫曼型離子源 KDC 系列最小型號的離子源
    尺寸:直徑= 1.52“ 高= 4.5”
    放電電壓: 100-1200 ev
    電流: 10 mA

    考夫曼離子源  KDC 10

    KRI 考夫曼離子源 KDC 40

    考夫曼離子源 KDC 40
    尺寸: 直徑= 3.5“ 高= 6.75”
    放電電壓: 100-1200 eV
    電流: 120 mA

    考夫曼離子源 KDC40

    霍爾離子源 eH 1000

    霍爾離子源 eH 1000
    尺寸:直徑= 5.7“ 高= 5.5”
    放電電壓: 50-300V
    電流: 10A

    霍爾離子源

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